1、更換排氣過濾器如果泵溫明顯升高、電動機電流達到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產生，則應檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0.6bar（表壓力）時可更換排氣過濾器。  
2、更換真空泵油及油過濾器如果油受污染而發黑、乳化或變稠應及時換油。換油同時，應更換油過濾器。并在加入新油之前請清洗泵。 清洗、換油步驟：停泵將熱油放掉；旋上放油塞，運轉5-10秒，將油放盡；注入清洗用油（32號普通機械油）到油窗高度的3/4處；運轉真空泵5-10分鐘；停泵，將油放掉。如放掉的油還是比較渾濁，達不到要求，重復3、4步驟，直到放出的油呈透明狀；旋上放油塞運轉5-10秒；將油放盡；注入規定的新油即可。
3、真空泵油XD、XQ系列真空泵應使用復合SH0528-92標準規定的真空泵油。環境溫度在0℃～10膠體成型-充填-封口機磨℃時使用ISO-VG32粘度等級的真空泵油。環境溫度在10℃～40℃時使用ISO-VG100粘度等級的真空泵油（為原1#真空泵油）。 真空泵運轉時必須保持油位在油窗高度的1/2～3/4處。應經常檢查油位和油的污染情況（建議每周一次）。
4、清洗吸氣過濾網吸氣濾網應保持清潔，以免抽速下降。  
5、貯藏如果泵長期擱置不用，應將油放盡并清洗泵，然后注入規定的新油放置在干燥場所。